鎢燈絲掃描電鏡(Tungsten Filament Scanning Electron Microscope,TFE-SEM)是一種常見的高分辨率成像技術。它利用高速電子掃描樣品表面,可以得到樣品表面的高分辨率像,常用于研究材料的形貌、微結構和成分等。
鎢燈絲掃描電鏡總發射電流以及束斑都比較大,抗干擾能力還有穩定性都比較好,低真空下能夠對不導電樣品無荷電成像,能夠使用于形貌觀察、顯微結構分析以及斷口形貌分析,在材料領域、地質領域、礦產領域、冶金領域、機械領域、化學領域、化工領域、物理領域、電子領域、生物領域以及醫學等領域都有廣泛的使用。
鎢燈絲掃描電鏡的主要功能包括形貌觀察、成分分析、失效分析、應力分析和相分析等。這種設備利用高能電子束掃描樣品表面,產生多種物理信號,如二次電子、背散射電子等,這些信號通過探測器收集并放大后,用于調制得到樣品的顯微圖像。鎢燈絲掃描電鏡具有較大的總發射電流和束斑,具有較好的抗干擾能力和穩定性,適合在低真空環境下使用,甚至可以對不導電樣品進行無荷電成像。鎢燈絲掃描電鏡還提供穩定的光源,滿足不同的掃描模式下的成像需求,且具有較長的使用壽命,可以減少維護和升級成本。
經過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓,讓電子槍處于熱激發的狀態,在陽極作用下,處于熱激發的電子槍就能夠激發出電子束。通過掃描線圈磁場的操控,電子束在樣品表面逐點掃描,激發出二次電子以及背散射電子等物理信號,通過探測器收集還有放大器放大之后,調制并得到圖像。鎢燈絲掃描電鏡比較適合大量的常規檢測。